一、仪器的介绍： 原子力显微镜是利用原子间相互作用力来研究包括导体和绝缘体在内的固体材料表面结构的分析仪器。 二、仪器参数： 1. 采用PI平板压电扫描器，无管式压电管的bow效应，能同时进行光学显微镜与原子力显微镜量测。 2.最大扫描范围：100×100×15微米(闭环) 3. 探针扫描设计，液相量测情况下不会损坏压电陶瓷 4. 分辨率：云母晶格图像(接触模式、高解析模式) 5. 针尖定位噪声水平(RMS) 大气条件下：垂直方向小于0.08nm，水平方向小于1nm(闭环); 液相条件下：悬臂偏移小于0.3nm(弹性系数0.03N/m，温度20摄氏度) 6.最先进的电容式探针位置传感器，全程xy扫描线性化达0.03%，保证探针的重复定位与长时间稳定定位 7. 智能马达进针，漂移跟踪设计消除样品加热膨胀的影响 8. xyz三轴扫描方向硬件线性化设计提供了高端的量测性能 9. 采用850nm波长激光源，不会影响匹配倒置光镜的光学量测 10. 探针弹性系数的热噪声方法自动校正 |
