一、仪器基本信息

仪器型号：HT7820

生产厂家：Hitachi

购置时间：2025.5

所属技术服务部：微纳结构技术研发部

放置位置：科技大楼1楼场透射电子显微镜室

管理人员：周珊珊 13720087388

仪器应用：可用于材料/生物样品形貌和内部结构观察，可进行能谱分析和光电联用；铜网自备，生物样品自行制样，不可拍摄磁性样品和放射性样品。

二、仪器操作流程

（一）开机步骤：（常规开机从第3步开始操作）

1. 在操作台后方，先将MAIN breaker主开关打至于ON，然后再手按住RESET开关持续1秒以上直到听到啪嗒声；

2. 将操作台右侧的EVAC开关打到ON，将样品杆转到交换位置，主机的EVAC和GUN指示灯将同时开始闪烁，等待约15分钟后指示灯自动长亮，抽真空完成；

3. 启动电脑，启动冷却循环水系统；

4. 将操作台右侧的COL开关打到ON，启动电镜软件，开始正常使用。

（二）装样测试步骤：

1. 打开加速电压：点击HV/Filament Operation功能框中，HV后面的[on]按钮，等待加速电压逐渐上升到预设值。

2. 装样：（1）向外拔出样品杆，拔不动时延顺时针方向旋转到底，旋转角度为15°（这个状态称为待测位）；（2）再次向外拔样品杆，拔不动时将样品杆逆时针方向旋转45°放置；（3)将交换仓放气开关扳到Air一侧，等待几秒后红灯亮起后，说明空气漏泄完成，拔出样品杆；（4）用镊子将样品载网放置在样品杆架上，并用压片压好；（5）平行将样品杆装入镜筒到AIR灯亮起；（6）将真空开关从AIR拨到EVAC等到EVAC绿灯亮起；（7）在EVAC绿灯亮起的20秒内（若超过20秒绿灯会自动熄灭，此时应再次将EVAC拨到AIR再拨到EVAC，等EVAC绿灯再次亮起），将样品杆顺时针转动45度并送入待测位置。

3. 打开电子束：（1）在HV/Filament operation功能框中，点击Filament行右侧[On]按钮；（2）点击Beam行右侧[On]按钮，灯丝电压逐渐上升至预设值。

4. 聚光镜光阑位置调节：（1）使用操作板上的[MAGNIFICATION] 旋钮，将放大倍数调节至x5.0k；（2）旋转聚光镜光阑的选孔旋把，将聚光镜光阑插入，通常使用No.2或No.1孔；（3）使用[BRIGHTNESS]旋钮将电子束调节至最小光斑，确认[BH]按钮处于点亮状态，然后使用XY旋钮将光斑移至画面中心；（4）使用[BRIHTNESS]旋钮将光斑重新放大，用聚光镜光阑的位置旋把使光斑中心与画面中心重合。

5. 观察拍摄图片：（1）将样品杆逆时针转动15°，然后紧握样品杆，并缓慢地将其推倒底，此时样品到达镜筒正中。（2）在Screen相机模式下找到目标样品位置，点击Main camera功能框中的[Main]按钮，进入主相机活图像；（3）使用操作板上[BRIGHTNESS]旋钮将直方图中的曲线峰调至中间附近；（4）点击[AF start]按钮或操作板上的[AF]按键，执行自动聚焦；（5）点击[Cap.]按钮或透射图像上方的图标抓取图像；（6）点击[Save]按钮或透射图像上方的图标保存图像。

6. 取出样品：重复“装样”步骤，先将样品从样品杆上取出，再将样品杆送入镜筒“交换位”。

（三）关机步骤：（常规关机步骤只进行到第5步）

1. 点击HV/Filament operation功能框中，Beam行右侧的[Off]按钮关闭电子束；

2. 点击Filament行右侧的[Off]按钮关闭灯丝电压；

3. 点击HV行右侧的[Off]按钮关闭加速电压；

4. 保存数据，关闭软件，关闭电脑；

5. 关闭操作台右侧的COL开关（“o”为关闭状态），关闭启动冷却循环水系统；将操作台右侧的EVAC开关打到OFF，主机的EVAC和AIR指示灯将同时亮起，等待约15分钟后指示灯自动熄灭，并且真空系统自动停止；

6.关闭操作台后方的MAIN breaker主开关。

三、仪器注意事项（或相关管理规定）

1. 磁性样品、放射性不允许测试。

2. 待测样品必须完全干燥，且在载网上不能轻易脱落（用吸耳球吹不掉）。

3. 启动软件前必须确认冷却循环水系统是开启状态。

4. 操作样品杆时，注意观察EVAC亮灯情况，必须待指定颜色灯光亮起后方可进行下一步操作。

5. 将样品杆从“交换位”送到“待测位”的过程，注意并不是用力推而是要轻轻的拉着样品杆慢慢送入）。

6. 测试完毕后需将样品及时取出，并在关机前确认样品杆在镜筒的“交换位”。

7. 仪器使用完毕需及时清理台面并在记录本登记使用情况。